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 內(nèi)容編輯

 目的:

在產(chǎn)品的生產(chǎn)、放置過程中，為防止LD.半導(dǎo)體受靜電破壞，特進(jìn)行一些有關(guān)防護(hù)對策確認(rèn)

2. 適用范圍:

適用于TDL制造部LD.半導(dǎo)體的靜電防護(hù)

3. 主管部門:

制造部

4. 人體接地:

4.1作業(yè)者靜電手腕佩帶點(diǎn)檢 （是否斷線.接地），記錄在《防靜電手環(huán)檢測管理表》.

4.2作業(yè)者（相關(guān)人員）進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域須著用防靜電帽.防靜電衣.防靜電鞋

4.2.1防靜電鞋鞋底須保持干凈

4.2.2觸摸一下人體靜電除去把手

4.2.3測量防靜電鞋是否導(dǎo)通（FOOT CHECKER），記錄在《防靜電鞋檢測管理表》.

4.3作業(yè)者椅子使用防靜電保護(hù)墊

4.4人體接地抗阻為：10Ω以下，記錄在《人體設(shè)備靜電確認(rèn)表》上.

※ 注意4.2∽4.4只適用TN-MD，完成品及PWB基板

5. 設(shè)備、治工具接地:

5.1所有與LD.半導(dǎo)體生產(chǎn)有關(guān)的設(shè)備、治工具必須接地，并進(jìn)行點(diǎn)檢。烙鐵點(diǎn)檢（1次/天）填寫在《焊錫烙鐵抵抗確認(rèn)表》中；離子風(fēng)扇、靜電氣槍除電檢測（1次/月）填寫在《離子風(fēng)扇/靜電氣槍除電確認(rèn)表》中；接地抵抗測試（1次/年）填寫《設(shè)備接地與人體接地對地阻抗點(diǎn)檢測試結(jié)果報(bào)告書》；接地線分支線導(dǎo)通檢測（1次/月）填寫在《人體、設(shè)備接地基線與分支線導(dǎo)通測試表》中；設(shè)備漏電檢測（1次/月）填寫《漏電電壓測定結(jié)果一覽表》.SURGE電壓檢測（1次/半年）填寫在《SURGE電壓測定結(jié)果一覽表》，LINE使用的金屬治工具及儀器設(shè)備的電量用庫侖測試器測定（1次/半年），填寫在《庫侖測定結(jié)果一覽表》上

5.3作業(yè)臺表面須鋪有導(dǎo)電墊并接地（其表面固有阻抗為：10 - 10 Ω/squre）

6. 備品靜電防護(hù): 

6.1使用半導(dǎo)電性塑料制成的部品箱

6.2使用防靜電捆包袋

6.3標(biāo)示使用的CARD CASE必須是防靜電素材制成

7. 靜電的檢測

7.1用表面電位計(jì) FMX-002/SIMCO 檢測設(shè)備的靜電電壓400V以下

7.2用表面電位計(jì) FMX-002/SIMCO 檢測人體的靜電電壓200V以下

7.3用表面電位計(jì) FMX-002/SIMCO 檢測作業(yè)環(huán)境的靜電電壓400V以下